指望“国产光刻机”早日问世？“芯智汇”能提供“压电马达”

--联盟创新风采系列报道之四十三

在任何国家，在任何时候，自主创新才是唯一的出路。

人工智能时代，处处都需要芯片。而要制造芯片，往往就需要光刻机。

我国的很多数据设备厂商，之所以受制于人，与我国至今没有自主知识产权的光刻机，有很大的关系。

想像一下，如果我们有了原创知识产权的光刻机，就能够生产出原创知识产权的芯片。因为芯片设计公司，需要有制造芯片的生产公司来配合。这样芯片销售公司和依托这些芯片的智能设备，才可能逐步集成装配出来。

在北京航天芯智汇物联科技有限公司技术负责人罗亮和市场负责人司加林看来，依托芯智汇自主研发的新材料，生产出来的压电马达，很有希望能够成为国产光刻机的有效配件。目前，这些压电马达已经拿出了样品，正在进行测试中。一个光刻机少说需要几十个压电马达。如果测试成功，而光刻机的其他配件也都能够同步到位，那么，国产光刻机的问世和产业化，就很有希望了。

罗亮介绍说，北京航天芯智汇物联科技有限公司是中国航天系统科学与工程研究院(十二院)的下属公司，芯智汇产品主要有两个方向，一是用于物联网的传感器产品，有红外气体传感器、火焰传感器等；二是用于精密驱动的压电马达和多轴平台(多轴机器人)，应用领域有手机摄像头模组、光刻机、卫星、高精度机器人、内窥镜等。

【热释电红外气体探测器】

【基于高性能热释电红外探测器的气体在线监测系统】

司加林介绍说，芯智汇之所以能够开发出这么多的应用，与“芯智汇”研制出了核心原材料很有关系。这个新材料，具有很好的功能系数，成为新一代国际领先的功能材料。依托这种材料设计出的精密压电马达，最高精度能够达到几个纳米。基本上与国外同类产品技术水平相当。

芯智汇这种“高精度驱动的压电马达和平台”，不止应用于光刻机，还可应用于星间通讯，还可以用作精密运动的“并联机器人”。现在世界各国都在争夺太空通讯市场，马斯克的公司准备在太空布置42000个通讯卫星组成星链。我国北斗系统也在一步步地完善中。这些“人造卫星”之间采用的激光通讯，需要高精度的对准，误差在几个纳米。而芯智汇的压电马达和平台，就能够实现这样的功能。如果将来批量应用到卫星上，那么它的产业前景也是不可估量的。

罗亮介绍说，依托这个新材料设计的“红外气体传感器”，能够同时、快速而精确地测量释放到天然环境中的各种危险气体，尤其是一氧化碳、二氧化碳、氮氧化物、二氧化硫、臭氧、硫化氢、甲苯、二甲苯等。这样就能够容易产生挥发性氛的石化等行业，提供“探测有毒有害气体监控技术方案”。

【地下管网、下水道等多气体在线监测系统】

地下管廊也需要这样的监控技术。城市的地下管网，一旦发生各种危险气体泄露，依托芯智汇的“地下管网、下水道等多气体在线监测系统 ”，就能够快速侦测到并报警。“我们这个用来做火灾监测也很厉害。比如森林火灾预防中，不要说是一个火堆，就是远方出现一个烟头，我们都能够很快地监测到。”